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2011/10/27 |
新製品「酸化チタン膜厚検査装置」の開発について
〜多孔質膜の膜厚を高速・高精度で計測可能に〜 |
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株式会社高岳製作所(本社:東京都中央区明石町8-1、代表取締役社長:尾ア功)は、1〜50μmの多孔質膜や導電薄膜などの膜厚を非接触・非破壊で高速かつ高精度に検査することができる検査装置ThIS−5001RSを開発した。
今後、成長が期待される色素増感型太陽電池の光電極に多孔質膜「酸化チタン膜」が用いられている。この膜厚に厚みムラがあると、色素増感型太陽電池の発電効率が低下してしまうため、酸化チタン膜の膜厚を検査・管理することが色素増感型太陽電池の生産品質維持・向上にとって重要である。従来、酸化チタン膜は多孔質膜のため、光による膜厚検査は困難であった。特に酸化チタン膜の粒子径が大きいと光の散乱が強くなり、光が膜を透過しないため殆ど計測が出来なかった。そこで酸化チタン膜の膜厚は、走査型電子顕微鏡(SEM)による破壊検査や接触式である表面計上測定器などで検査をしていたが、破壊検査であるため抜取り検査しか行うことが出来なかった。またかろうじて検査ができる膜厚検査装置においても屈折率が既知である必要があるが、前記のように酸化チタン膜は多孔質膜のため、一般的に知られている稠密な酸化チタン膜の屈折率とは異なるため正確な膜厚計測は出来なかった。
今回、反射率分光法を利用した独自アルゴリズムの開発により、検査をすることが困難であった多孔質膜「酸化チタン膜」の膜厚(膜厚1μm〜50μm、0.1μm(1μm時)、1μm(50μm時))および屈折率を同時に高速かつ高精度に検査することができる装置を開発した。また、膜厚を算出する過程で得られるデータより、多孔質膜の充填状態を表す「空隙率」を求めることができる。
また酸化チタン膜のような多孔質膜だけでなく、導電薄膜など均一性膜の膜厚も同様に検査することが可能。
従来の反射率分光法を用いた膜厚計では、面分布を測定するのに100点でも1時間以上を要していた。本装置では、約900点の膜厚データを5分で測定することができ、大幅な効率化が図れる。また、測定した膜厚分布は3次元表示され、面内の膜厚分布を容易に把握できる。
各測定点において±0.1μmの高精度で検査可能であり、信頼性のある検査を実現できる。
装置サイズは、約1,250mm(W)×900mm(D)×1,750mm(H)であり、省スペース設計となっている。
販売は、本年12月を予定しており、すでに数社から引合いがきている。今後3年間で12台の販売を見込む。
また、高岳製作所では、光計測技術を用いた更なる新製品も開発中であり、市場のニーズに即した製品の開発と事業展開を今後も図っていく。
表1 装置の主な仕様
| 項 目 |
諸 元 |
| 型 式 |
ThIS−5001RS |
| 計測方式 |
反射率分光法 |
| 使用波長 |
700〜2400nm |
| 計測範囲 |
1〜50μm |
| 計測精度 |
±0.1〜±1μm |
| 計測時間 |
5分以内(□300mm、900点) |
| 計測範囲 |
最大300×300mm |
| 装置寸法 |
1250(W)×900(D)×1750mm |
| 装置重量 |
約1000kgf |
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写真1 酸化チタン膜厚検査装置 |
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お問合わせ先
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| 株式会社高岳製作所 エレクトロニクス装置事業本部 営業部 |
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2011/06/06 |
| 6月1日(水)〜3日(金)
JPCA Show 2011へ出展しました |
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2011年6月1日(水)〜3日(金)
JPCA
Show 2011へ出展しました。
皆様のご来場ありがとうございました。
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会場 |
: |
東京ビックサイト 東展示棟
AM10:00〜PM5:00迄(最終日はPM4:00迄) |
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ブース番号 |
: |
東4ホール 4F−11 |
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出展品 |
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お問合せ先 |
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エレクトロニクス装置事業本部 営業部
TEL : 03−6371−5434
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2011/05/31 |
| 小山工場
郵便番号変更のお知らせ |
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弊社小山工場の郵便番号が変更となりますので、お知らせいたします。
| ○変更内容 |
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小山工場郵便番号 |
旧) |
〒323−8668 |
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新) |
〒323−0806 |
| ○変更日 |
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2011年6月30日 |
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今回の変更は郵便番号のみで、住所、電話番号、FAX番号に変更はありません。
今後とも宜しくお願い申し上げます。
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2011/03/16 |
| 東北地方太平洋沖地震被害に対する義援金等の寄付について |
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当社グループは、東北地方太平洋沖地震による被災者の救済支援策としてお役立てしていただくため、2千万円を義援金として寄付することといたしました。
また、役員及び従業員による募金も行うことを予定しております。
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2011/03/11 |
| 3月2日(水)〜4日(金) 第1回スマートグリッドEXPOに出展しました |
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2011年3月2日(水)〜4日(金) 第1回スマートグリッドEXPOに出展しました。
盛況のなか展示会を終えることができました。
皆様のご来場ありがとうございました。
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会場 |
: |
東京ビックサイト
10:00〜18:00 (4日(金)のみ17:00終了) |
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ブース番号 |
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東10−15 |
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出展品 |
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配電ネットワーク実証設備(パネル)
オートタップチェンジャー付柱上変圧器(実機)
エネルギーマネージメントシステム(デモ)
50kWタイプ急速充電器(実機) |
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2011/02/21 |
| 2月16日(水)〜17日(木)
川崎国際環境技術展2011に出展しました |
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2011年2月16日(水)〜17日(木) 川崎国際環境技術展2011に
電気自動車用急速充電器を出展しました。
皆様のご来場ありがとうございました。
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会場 |
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とどろきアリーナ 1Fメインアリーナ他
10:00〜17:00 |
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ブース番号 |
: |
川崎市ブース内
および C−02 (東京電力ブース内) |
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出展品 |
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急速充電器20kW、50kWタイプ |
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2011/01/27 |
| 1月19日(水)〜21日(金)
第2回EV・HEV駆動システム技術展に出展しました |
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電気自動車用急速充電器20kW、50kWタイプを1月19日(水)〜21日(金)に
東京ビックサイトで開催された「第2回EV・HEV駆動システム技術展」に
出展しました。
盛況のなか展示会を終えることができました。 皆様のご来場ありがとうございました。
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会場 |
: |
東京ビックサイト
10:00〜18:00 (21日(金)のみ17:00終了) |
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ブース番号 |
: |
東 5−40 (オートモーティブワールド内) |
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出展品 |
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急速充電器20kW、50kWタイプ |
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